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E L E C T R Ó N I C A P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S Sistemas electrónicos fiables para altas temperaturas fondo de pozos. Aunque el entorno en ambos casos es muy diferente, las consecuencias para los sistemas electrónicos en general y para los circuitos integrados en particular tiene mucho en común. En la figura 1 se muestra el sistema de «pozo inteligente». Los tubos de extracción de petróleo y gas van desde la cabeza del pozo, en el fondo del mar, hasta una instalación central que, en este caso, es un sistema La electrónica para altas temperaturas basada en la tecnología de silicio- flotante de producción. En la cabeza del sobre-aislante (SOI) hace posible que los circuitos y sistemas electrónicos fun- pozo, que está conectada con las zonas de cionen de forma permanente a temperaturas superiores a 225ºC alcanzando extracción del yacimiento, se acumula el flui- una larga vida útil. Esta tecnología está siendo utilizada para los sistemas elec- do que las tuberías van a conducir hasta la trónicos llamados de «fondo de perforación», en el sistema de «pozo inteligen- instalación central. Puesto que en el yaci- te» desarrollado por ABB para la extracción de petróleo y gas en zonas marinas. miento puede haber varios puntos de extrac- Además de responder a las necesidades del sector en lo que se refiere a una ción, puede ser necesario controlar el flujo en mayor fiabilidad y capacidad de funcionamiento, esta tecnología hace posible las distintas penetraciones. Para ello se dis- una explotación más eficiente y económica de los yacimientos difíciles de pe- pone de dispositivos con válvulas deslizantes tróleo y gas. Otros campos de aplicación son los sectores aeroespacial y de la o de reguladores de fondo de extracción y se automoción. utiliza un sistema de control y de registro de datos situado en la perforación. Para optimi- E zar la producción es necesario disponer de l término «electrónica para altas tempe- durísimo entorno en que deben funcionar los raturas» hace referencia a los circuitos y sis- equipos situados en el fondo de pozos de ex- datos, que se consiguen por medio de diversos sensores de fondo de extracción que temas electrónicos proyectados para funcio- tracción de petróleo y gas. El sistema, basa- miden principalmente la presión, la tempera- nar a temperaturas superiores a 125 °C, que do en la tecnología SOI, permitirá a las com- tura, el contenido de agua en el fluido extraí- es la máxima temperatura de funcionamiento pañías petrolíferas explotar yacimientos com- do y el caudal total. Este tipo de control acti- de la mayor parte de los sistemas electróni- plejos de petróleo y gas de forma eficiente y vo en el fondo de perforación y monitoriza- cos comerciales. Aunque esta definición no económicamente óptima. ción de varias zonas y ramales es algo relati- tiene una base científica, durante las últimas vamente nuevo, que exige aplicar mucha décadas el sector lo ha definido en el plano tecnológico. Utilizando circuitos integrados SOI (silicio- más «inteligencia electrónica en el fondo de Aplicaciones y actividades perforación» de lo que era habitual hasta actuales de ABB ahora. Realmente son muy pocas las instala- sobre-aislante), actualmente es posible pro- ABB Corporate Research (Noruega) trabaja ciones en funcionamiento y las que existen yectar y fabricar sistemas electrónicos con en dos áreas de aplicación de sistemas elec- disponen de un pequeño número de disposi- una larga vida útil que funcionan permanen- trónicos en entornos extremos que exigen tivos controlables. temente a altas temperaturas de, por ejem- precauciones especiales. La primera de ellas La experiencia en el campo de sistemas plo, 225 °C. Dichos sistemas pueden funcio- tiene como objeto los ASIC con codificación electrónicos en el fondo de pozos se limita a nar incluso a 300 °C aunque a costa de una digital para aplicaciones espaciales [1], un los equipos utilizados para perforación, que reducción de su vida útil. Sin embargo, la proyecto realizado para la Agencia Espacial sólo se utilizan en periodos de unas pocas gama fiable de componentes «estándar» es Europea (ESA), y la segunda un sistema elec- semanas cada vez. La experiencia de pro- muy reducida y, por tanto, la selección de trónico a altas temperaturas para aplicacio- ducción está restringida a la obtenida con un dispositivos apropiados para aplicaciones nes de extracción de petróleo y gas en el sensor de presión y un sensor de temperatu- concretas es el mayor reto con que se tienen ra (frecuentemente redundantes), y de estos que enfrentar los proyectistas, tanto de siste- equipos se sabe que, debido al durísimo en- mas como de hardware. torno en el que funcionan, tienen una máxima ABB Offshore Systems, en estrecha coo- vida útil de unos pocos meses. Los sistemas peración con ABB Corporate Research y Knut Asskildt de la próxima generación tendrán que tener otras empresas de ABB, está a punto de co- Sohrab Yaghmai una fiabilidad y una capacidad de funciona- menzar la fabricación de un sistema de ABB Corporate Research, Noruega miento mucho mayores para que las compa- «pozo inteligente» de gran fiabilidad para el 30 Revista ABB 5/1999 ñías petrolíferas puedan explotar con éxito E L E C T R Ó N I C A yacimientos difíciles. Sin embargo, la recom- • P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S Espacio muy limitado para los módulos pensa que puede esperarse para tal logro es electrónicos, así como para los cables y enorme. En 2 aparece representado un sis- paso de los mismos. tema electrónico típico situado en el fondo de • perforación. Las características de aplicación y los fac- • es probable que sus especificaciones experimenten cambios importantes. • La experiencia con los sistemas electróni- Instalación sujeta a condiciones mecáni- cos de fondo de pozo muestra que di- cas y ambientales muy duras. chos sistemas son poco fiables y tienen Necesidad de una vida útil y de una dis- una vida útil corta; ya se han hecho algu- tores que afectarán a la electrónica para ponibilidad de los sistemas de 10 a 20 nas investigaciones de las causas de pozos inteligentes que será necesaria en el años en el caso de las peores condicio- fallo, aunque se trata de estudios rudi- nes ambientales (por ejemplo 225 °C). mentarios debido, entre otras razones, a La recuperación de los dispositivos ave- los altos costes de recuperación. El siste- futuro pueden resumirse de la forma siguien- • te: • • Temperatura ambiente superior a 200 °C riados situados en el fondo del pozo es ma de pozo inteligente es mucho más durante toda la vida útil de los equipos. extremadamente cara y por tanto no se complicado que los sistemas anteriores y La distancia entre la cabeza del pozo y los tiene en cuenta en la mayor parte de las las soluciones «conceptuales» varían de módulos electrónicos más alejados puede instalaciones actuales. un proveedor a otro y de un cliente a otro. Los sistemas electrónicos en desarrollo Actualmente, los clientes y los usuarios fi- deberán soportar los dispositivos de nales (es decir, las compañías petrolíferas) tos químicos agresivos y presiones muy fondo de pozo (sensores y actuadores) están intentando «estandarizar» las solu- altas. que se están desarrollando y, por tanto, ciones. ser superior a 10 km. • • Entorno muy severo, incluso con produc- Sistema de «pozo inteligente» para una explotación eficiente y económicamente óptima de los yacimientos submarinos de petróleo y gas de gran dificultad 1 2 3 Flotador Cabeza del pozo Tubos de extracción de petróleo/gas 4 5 6 Yacimiento petrolífero Sección de caudal de entrada Sensores 7 1 Reguladores en el fondo de perforación Revista ABB 5/1999 31 E L E C T R Ó N I C A • P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S La función de los sistemas electrónicos tervalo paramétrico que puede presentar- El potencial total de mercado de la HTE se no parece ser mucho más exigente que la se a lo largo de una larga vida útil a altas estima actualmente en 10.000 millones de de un sistema «normal» situado en tierra, temperaturas. dólares, esperándose que aumente hasta Redundancia, para asegurar que se man- 17.000 millones en el año 2005 [6]. Las pre- pero la falta de componentes electrónicos • estándar fiables crea todavía grandes difi- tiene la máxima capacidad de funciona- visiones de «mercado real» para el año 2005 cultades para llegar a un buen concepto miento en el caso de errores en los com- son de 10.000 millones de dólares o del 6 % base suficientemente fiable. ponentes. No se utilizan dispositivos com- del mercado potencial total de HTE. Se trata Como se ha dicho anteriormente, varias em- plicados de «conmutación» a altas tempe- de una baja penetración, pero exige a la in- presas y centros de investigación de ABB raturas para evitar los errores de by-pass. dustria electrónica realizar grandes inversio- están dedicados al desarrollo del sistema de Tampoco es necesario utilizar dispositivos nes. «Pozo Inteligente ABB». ABB Offshore Sys- complejos de refrigeración, cuya vida útil tems es responsable del sistema global y es es problemática. es el del control de motores, sistemas de es- «propietaria del producto». ABB Corporate • El mayor campo de aplicación de la HTE Administración en el fondo del pozo; estas cape y frenos en el sector de la automoción Research (Noruega) corre con la responsabi- funciones están situadas en el «controla- (200 a 250 °C), que según las previsiones su- lidad de desarrollar el sistema electrónico de dor de fondo del mar a baja temperatura», pondrá el 65 % del mercado en el año 2005. fondo de perforación, diseñar los circuitos in- lugar en el que se tolera una mayor com- El registro de datos en pozos petrolíferos tegrados SOI y realizar los ensayos del siste- plejidad sin que esta afecte a la disponibi- (250 °C) y la electrónica aerospacial (máximo ma. Los investigadores de Alemania se en- lidad del sistema (este dispositivo puede 800 °C) serán los dos siguientes campos de cargan de los métodos para la evaluación del ser recuperado). aplicación más grandes, cada uno de ellos «acoplamiento de matrices» y unión de ca- • Grado de redundancia, que puede deci- con una cuota de mercado estimada en bles, de la selección de materiales y compo- dirse para cada pozo sin tener que modi- torno al 14%. Dichas cifras indican que el nentes electrónicos discretos adecuados ficar el diseño electrónico. mercado de la HTE depende del impacto de para el diseño del sistema de fondo de perfo- Una cuestión que merece la pena mencionar, la aplicación misma y no de la rentabilidad del ración y de realizar las pruebas de envejeci- y que es especialmente cierta en el caso de negocio de componentes propiamente miento del sistema. diseños para altas temperaturas, es que un dicho. Durante el diseño del sistema electrónico diseño correcto comienza en el nivel de sis- Sin embargo, el desarrollo de la tecnología se prestó especial atención a las siguientes tema. La utilización de la tecnología de cir- HTE ha recibido la ayuda de otro mercado áreas: cuitos integrados SOI es un factor vital para que no exige aplicar directamente la tecnolo- • conseguir una fiabilidad «suficiente». gía para altas temperaturas. Los mercados • • 32 Flexibilidad, para conseguir que el sistema acepte tanto configuraciones simples de telecomunicaciones e informática, mucho como complejas, es decir, que el número más grandes, necesitan tecnología para de dispositivos controlables en el fondo Mercado global de la electrónica componentes de densidad y velocidad muy del pozo y la distancia entre ellos pueda para altas temperaturas altas. Debido a que la tecnología SOI es ade- ser virtualmente ilimitada. El mercado comercial de la electrónica para cuada para todos estos mercados, se están División del sistema, con el objetivo de altas temperaturas (HTE) ha sido muy pe- realizando en ella grandes inversiones que la asegurar que los circuitos integrados SOI queño en el pasado y, consecuentemente, harán seguir avanzando. en la solución de sistema sean los mismos los esfuerzos de I+D de la industria electróni- La tecnología SOI es actualmente el pro- para todas las configuraciones, excepto la ca en este campo han sido muy limitados, a ceso más maduro para altas temperaturas, interfaz «próxima» a los dispositivos efec- pesar de que existen numerosas aplicacio- aunque no es apropiada para aplicaciones tivamente controlables como, por ejem- nes de tipo científico. Durante la última déca- de alta intensidad de corriente, que precisan plo, la interfaz (frecuentemente analógica) da ha aumentado el número de aplicaciones de una tecnología distinta. de los elementos sensores o una interfaz industriales, lo cual ha ampliado los límites de actuadores, que en la mayor parte de del campo y ha llevado a la madurez la tec- los casos ha de ser adaptada a las nece- nología de los materiales básicos. Como re- Componentes electrónicos sidades de los clientes. sultado de ello, la industria fabricante de se- y semiconductores normalizados Integración de la máxima cantidad posible miconductores está empezando a acelerar el para temperaturas de 200 °C de lógica en los circuitos integrados SOI desarrollo y a prepararse para la producción. Todos los módulos electrónicos están forma- para conseguir máxima fiabilidad con un Las aplicaciones de la HTE abundan en dos por diversos componentes como semi- número mínimo de circuitos integrados, los sectores industriales, desde el sector de conductores, componentes pasivos, subs- siguiendo el principio de máxima sencillez. la automoción hasta el registro de datos en tratos, cables, conexiones y grupos constitu- Los pocos componentes discretos nece- pozos petrolíferos, pasando por la electróni- tivos. Los semiconductores pueden dividirse sarios se dimensionan para el amplio in- ca aeronáutica y aerospacial. en dos grupos: dispositivos diseñados espe- Revista ABB 5/1999 E L E C T R Ó N I C A P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S 2 Sistema electrónico típico para ambientes extremos en el fondo de perforación 4 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Flujo Módulo electrónico Cables de comunicación y fuerza Control en el fondo del mar Envuelta Regulador de manguito deslizante Obturador Tubos de extracción Caudalímetro 5 3 3 Concentración n de electrones en función de la temperatura T en el silicio tipo n Rojo Azul Densidad de electrones Concentración intrínseca de portadores 6 cm-3 2x1016 7 1 2 8 n 1.0 9 1.0 0 100 200 300 400 500 K 700 T cialmente para altas temperaturas, de los condensadores, materiales magnéticos, el factor de disipación, las variaciones de la cuales se hablará más adelante, y dispositi- etc. En el caso de las resistencias y con- capacidad y la vida útil. vos estándar, para bajas temperaturas, que densadores, los principales problemas son Las características de los materiales mag- normalmente se examinan y someten a en- la estabilidad de los materiales utilizados y néticos pueden describirse mediante la tem- sayos antes de utilizarlos en ambientes a alta su interdifusión. Las resistencias de película peratura de Curie del núcleo y la curva de his- temperatura. La experiencia ha demostrado depositada, tales como las de Ni-Cr, Cer- téresis. Frecuentemente, los materiales con que los resultados que dan estos últimos dis- met (Cr-SiO) y las de película gruesa (por una alta temperatura de Curie tienen una baja positivos son insatisfactorios, principalmente ejemplo de rutenio plata), han demostrado permeabilidad, con el resultado de que un in- debido a su vida útil y a lo impredecible de ser las más fiables y tener los menores coe- ductor para altas temperaturas es más gran- sus características a largo plazo [7]. Entre ficientes de temperatura (200 ppm/K). Los de que su equivalente para bajas temperatu- estos componentes se encuentran diversos condensadores NPO y dieléctricos de vidrio ras. Aunque algunos tipos de placa orgánica dispositivos diseñados según especificacio- son fiables hasta una temperatura de 300 de circuito impreso han demostrado resistir nes militares y transistores/diodos de alta po- °C, pero los valores disponibles de capaci- temperaturas de hasta 250 °C, la experiencia tencia que pueden funcionar con una tempe- dad están limitados a menos de 0,33 F, con con la HTE demuestra que los substratos de ratura de unión de hasta 180 °C. valores nominales de tensión limitados. Los tipo cerámico son mucho más fiables. Esta «Componentes pasivos» es un término principales problemas en el caso de los última tecnología ha sido utilizada durante genérico que comprende las resistencias, condensadores para altas temperaturas son muchos años para los circuitos de película Revista ABB 5/1999 33 E L E C T R Ó N I C A P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S Concentración intrínseca de portadores Tabla 1 Cuadro general de semiconductores La concentración intrínseca de portadores, SiC III-V Diamante ni, es el número de cargas electrónicas Si Homo- SOI/ géneo SIMOX GaAs Salto de Banda (eV) 1.1 1.1 1.3 2.9 3.5 – 6.4 5.5 Temperatura útil (°C) 150 250 300 >600 >600 >1000 conductor y, por tanto, con la temperatura, muy baja ria para «romper la unión» o desplazar un «libres» en un semiconductor puro, con un mismo número de electrones y huecos. Dicho valor varía cuando cambia la energía vibratoria de la estructura cristalina del semi- Madurez así como con la energía de salto, Eg, necesamuy alta media alta baja muy baja electrón desde la banda de valencia, donde no contribuye a la conducción, hasta la banda de conducción, donde es «libre» para moverse en un campo eléctrico. En un estado de equilibrio, gruesa y de película fina. Los substratos ce- están en el campo de altas frecuencias y en rámicos tienen mejores características de la óptica. Hasta ahora se les ha prestado conducción del calor y de alta frecuencia en poca atención para aplicaciones a alta tem- ni = (p n)1/2 = constant T 3/2 e(–Eg/2kT) (1) comparación con los de tipo orgánico; ade- peratura, aunque se prevé que serán ligera- donde n y p son respectivamente la densidad más, las resistencias y los condensadores mente mejores que los de silicio. de electrones y de huecos, k es la constante pueden ser instalados directamente sobre el de Bolzmann y T la temperatura absoluta. Se substrato. comprende la importancia de la ecuación (1) Efectos básicos de la temperatura cuando se observan las uniones pn básicas en los semiconductores (Si) de las que dependen todos los circuitos inte- limitada, aunque la tecnología de semicon- Son bien conocidas las características físicas grados. Las uniones pn se obtienen cuando ductores SOI SIMOX (separación por oxíge- básicas y las propiedades de los semicon- una parte del semiconductor contiene una no implantado) está alcanzando su madurez. ductores; de hecho ya han sido explicadas impureza aceptora, normalmente boro, y otra Aunque, entre los materiales disponibles ac- en numerosos manuales. Actualmente se parte contiene una impureza donadora, nor- tualmente, el silicio es el material semicon- está fabricando gran cantidad de dispositivos malmente fósforo. En la superficie de contac- ductor más maduro desde el punto de vista de silicio, lo que acelera su desarrollo y per- to entre las regiones n y p existirá una unión tecnológico, no está considerado como el feccionamiento y hace que su coste se re- pn, formándose una región de carga espa- «mejor» a largo plazo. duzca sin cesar. Sin embargo, el mercado de cial. De igual forma, los transistores MOS Tal como se explicará más adelante, dispositivos para altas temperaturas y con (metal-óxido de silicio) dependen de la for- cuanto mayor es el valor de salto de banda tolerancia a la radiación supone sólo una pe- mación de una región de carga espacial bajo de un semiconductor tanto mejor se espera queña fracción del mercado total, de modo la zona del electrodo. que funcione a altas temperaturas. En la que el número de proveedores es relativa- En la ecuación (1) puede verse que ni au- Tabla 1 se incluye un resumen de los semi- mente pequeño y, por tanto, los costes se menta exponencialmente con la temperatu- conductores en uso. La gama de dispositivos semiconductores para aplicaciones a alta temperatura es muy ven afectados negativamente. La tecnología ra. Cuando ni es igual a la densidad de impu- La información de dicha tabla se incluye SOI, disponible en diferentes formas desde rezas donadoras en la región n, el semicon- solo a título de guía aproximada y no tiene hace décadas, ha alcanzado ya un grado de ductor se convierte en totalmente intrínseco y carácter científico. Su mensaje más impor- madurez tal que está garantizada la fiabilidad las regiones de carga espacial desaparecen. tante es que los candidatos más prometedo- de los diseños y procesos de fabricación Ningún transistor podrá funcionar a esta alta res para aplicaciones del orden de 200 °C se convencionales. temperatura en el silicio, de aproximadamen- encontrarán en los próximos años entre las El rendimiento de los dispositivos semi- te 400 °C, que aumenta ligeramente cuando tecnologías SOI y SiC. Se han estudiado conductores a altas temperaturas está deter- el nivel de impurezas es mayor [2]. Sobre este científicamente diversos dispositivos fabrica- minado por cuatro propiedades físicas bási- punto véase la figura 3 . dos con materiales menos maduros, pero to- cas: davía deberán pasar años hasta que se pue- • • • • dan utilizar industrialmente. Ya se encuentran disponibles los de arseniuro de galio (GaAs), pero la mayor parte de sus aplicaciones 34 Revista ABB 5/1999 El aplanamiento de n en 3 se debe a la Concentración intrínseca de portadores concentración de impurezas donadoras to- Corriente de fugas talmente ionizadas. Es claramente visible que Movilidad de portadores la concentración intrínseca, ni , depende ex- Tensión umbral ponencial de T y que domina la concentra- E L E C T R Ó N I C A P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S ción total de electrones, de forma que el se- se sabe que ni varía exponencialmente con la ditado la capacidad de funcionamiento de miconductor se convierte en intrínseco tal temperatura. De hecho, se ha comprobado los circuitos integrados SOI hasta una tem- como puede verse en la parte inclinada de la experimentalmente que la corriente de gene- peratura de 350 °C. La corriente de fugas de curva a la derecha de 3 . ración de los circuitos integrados SOI es aproximada- es dominante por debajo Actualmente se fabrican transistores SOI 100–150 °C y la corriente de difusión lo es mente de dos a tres órdenes de magnitud MOS de película delgada que pueden funcio- por encima de dichas temperaturas. Tam- menor que la de los CMOS homogéneos a nar a más de 350 °C. bién se observa que los semiconductores temperaturas elevadas (de 200 a 300 °C). La ecuación (1) también muestra la de- con grandes saltos de banda presentan co- pendencia exponencial de Eg, lo que expli- rrientes de fugas más pequeñas que los que ca el gran interés que para el funcionamien- tienen saltos de banda menores. Movilidad de portadores to a altas temperaturas tienen los semicon- También puede verse que la corriente de La movilidad de portadores en el canal de ductores con valores de salto de banda más fugas es proporcional a la superficie de la una estructura MOS, tanto en circuitos inte- altos que los de silicio. El Si tiene un salto de unión, Aj; en la figura 4 se ve que las gran- grados SOI como en CMOS homogéneos, banda de 1,1 eV a temperatura ambiente, el des superficies de unión, el drenador y espe- está fuertemente influida por los efectos su- GaAs 1,34 eV con un límite intrínseco de cialmente el pozo dominan la corriente de perficiales en el canal que se forma bajo el aproximadamente 650 °C, el SiC 2,9 eV y fugas en los CMOS homogéneos, mientras electrodo del transistor, es decir, por la su- un límite de aproximadamente 1000 °C y el que estos factores no existen en la estructu- perficie de contacto entre el silicio y el dióxi- GaN 3,45 eV con una temperatura intrínse- ra SOI, donde han sido sustituidos por la su- do de silicio. El efecto de dispersión superfi- ca incluso superior. perficie de contacto con el aislamiento de cial asociado a estas superficies de contacto óxido enterrado. reduce significativamente la movilidad con Los circuitos integrados CMOS homogé- respecto a su valor másico, el cual está teó- Corriente de fugas neos más comunes pierden capacidad de ricamente dominado por la dispersión es- La corriente de fugas es otra propiedad fun- funcionamiento a temperaturas por encima tructural que, a su vez, depende de T-3/2. La damental que define límites de diseño y fun- de unos 240 °C, lo que se debe a la elevada reducción es función del proceso de forma- cionamiento para los circuitos integrados corriente de fugas, mientras que se ha acre- ción de óxido en el electrodo. Debido a ello, para altas temperaturas. La unión de polarización inversa n+p- tiene una corriente de fugas Ir [3] que viene dada por Ir = q Aj ni Wj / τe + qAj (Dn/τn)1/2 ni2/Na Un inversor en circuitos CMOS homogéneos (arriba) y en la tecnología SOI (abajo) 4 (2) 0V 5V Salida = 5 V donde q es la carga electrónica, Aj la superficie de la unión, ni la concentración intrínseca de portadores, Wj la anchura de la unión, e la n+ n+ p+ p+ n+ vida efectiva de los portadores generados térmicamente en la región de carga espacial, el tiempo de vida de los electrones en el ma- Pozo n Corriente de fuga de energía Dn el coeficiente de difusión de electrones, n Substrato p Corriente de fuga de pozo terial neutro tipo p, y Na la concentración de impurezas aceptoras. El primer término es la contribución a las fugas efectuada por los portadores generados térmicamente en la re- 0V gión de carga espacial y barridos de esta re- Corriente de fuga de energía 5V Salida = 5 V gión por el fuerte campo eléctrico existente en la misma. El segundo término es la com- n+ n+ p+ p+ ponente de difusión debida a los portadores ´ Oxido enterrado dentro de la longitud de difusión de la región de carga espacial, que se difunden a dicha región y de la cual son barridos. Substrato p En la ecuación (2) puede verse que la corriente de generación varía con ni y la corriente de difusión con ni2. Por la ecuación (1) Revista ABB 5/1999 35 E L E C T R Ó N I C A P A R A A L T A S 0.2 V 0 T E M P E R A T U R A S 2 1 – 0.2 3 – 0.4 a – 0.6 U – 0.8 2 1 –1.0 4 –1.2 0 50 100 150 200 250 3 300 °C T b Tensión umbral U como función de la temperatura T en el caso de circuitos CMOS homogéneos y SOI 5 Metalizado en circuitos SOI (a) y homogéneos de silicio (b) 1 2 CMOS homogéneos SOI Metal Siliciuro 3 4 6 Substrato de silicio Aislador la dependencia experimental de la movilidad, un transistor homogéneo de n canales viene peratura, observándose también que la con- µ, en función de la temperatura se expresa dada por [5]: centración intrínseca de portadores determina la dependencia de la temperatura. El coe- frecuentemente [4] como: Vth = VFB + 2ϕF + γ (2ϕF + VSB)1/2 µ(T) = µ (T0) T/T0–m (4) ficiente de temperatura de la tensión umbral en los dispositivos homogéneos es de apro- (3) where γ = Cox–1 (2εsi q Na)1/2 ximadamente 3 a 5 mV/grado. y VFB es la tensión de banda rectangular, F el res SOI MOS de película delgada, el espesor que la movilidad se reduce según un factor potencial de Fermi, VSB el potencial entre de esta puede ser tan pequeño que se agote de 2 a 4 a altas temperaturas. fuente y masa, Cox la capacidad del óxido del totalmente, de modo que la anchura máxima Sin embargo, en el caso de los transisto- donde T0 es la temperatura ambiente y m un valor comprendido entre 1,5 y 2, que implica Otro factor del que depende la movilidad electrodo, Esi la constante dieléctrica del sili- de agotamiento sea casi independiente de la en el canal es el potencial superficial bajo el cio y Na la concentración de aceptores. A y temperatura. Por lo tanto, el coeficiente de electrodo del transistor MOS, que frecuente- se le llama factor de efecto del cuerpo para temperatura de la tensión umbral es sólo de mente hace que la movilidad en los transisto- indicar la dependencia que tiene el potencial 1 mV/grado aproximadamente, como puede res SOI MOS de película delgada sea algo del cuerpo a la tensión umbral. El término verse en 5 . mayor que en los transistores homogéneos que incluye y en la ecuación (4) es debido a la A partir de las propiedades fundamentales equivalentes [5]. máxima anchura de agotamiento bajo el de los semiconductores y de su dependencia canal. de la temperatura, ahora es posible resumir algunos efectos secundarios relevantes que Tensión umbral El potencial de Fermi, aquí también para un también tienen gran importancia para aplicar La tensión umbral, Vth, del transistor MOS transistor de n canales, viene dado por: con éxito la tecnología disponible para altas homogéneo disminuye al aumentar la temperatura. Si esta es demasiado baja, una co- temperaturas. ϕF = (kT/q) ln(Na/ni) (5) rriente significativa fluye entre la fuente y el drenador, incluso aunque no se aplique ten- De las ecuaciones 1, 4 y 5 puede deducirse sión alguna a la puerta, lo que hace que el que la tensión umbral disminuye de forma transistor resulte inútil. La tensión umbral de aproximadamente lineal al aumentar la tem- 36 Revista ABB 5/1999 E L E C T R Ó N I C A P A R A A L T A S T E M P E R A T U R A S tiempo de 10 años. Los efectos no son tan Bibliografía Fenómenos que reducen la vida importantes como los dos anteriores, a con- [1] K. Asskildt: Desarrollo de circuitos elec- útil de los dispositivos dición de que se tomen las precauciones trónicos resistentes a las radiaciones para semiconductores para altas necesarias durante el funcionamiento. satélites. Revista ABB 3/92, 19–26. [2] A. S. Grove: Physics and technology of temperaturas semiconductor devices. J. Wiley & Sons, Electromigración Degradación del dieléctrico 1967. La electromigración –desplazamiento de También se sabe que la degradación del [3] S. Sze: Physics of semiconductor devi- iones metálicos con altas densidades de dieléctrico se acelera con la temperatura, ces. J. Wiley & Sons, 1981. corriente– es uno de los principales causan- pero las cuidadosas pruebas realizadas de- [4] D.C. Sheridan et al.: Evaluation of tes de fallos en las aplicaciones para altas muestran que la corriente de fugas del die- Si3N4/SiO2 stack and commercially availa- temperaturas. El fenómeno, que se produce léctrico no perturbará el funcionamiento del ble MOS capacitors for high temperature en las pistas metálicas de los circuitos inte- circuito a 10 V con temperaturas inferiores a electronics. Trans. on Third International grados con mayor resistencia, depende ex- 300 ºC. High Temperature Electronics Conference ponencialmente de la temperatura y puede (HITEC), Albuquerque, New Mexico, June provocar la apertura de un circuito. Por esta 1996. razón, los proveedores de silicio están reali- Conclusiones y trabajos [5] J.P. Colinge: Silicon-on-Insulator Tech- zando un gran esfuerzo para seleccionar adicionales nology. Kluwer Academic Publishers, 1991. materiales adecuados y establecer reglas Basándose en los trabajos efectuados hasta [6] The world market for high temperature de diseño que solucionen este problema. la fecha se recomienda considerar la utiliza- electronics. HITEN report, AEA Technology, ción de la tecnología SOI en todos los siste- 1997. Contactos eléctricos metal-silicio mas que deban funcionar de forma fiable a [7] F.P. McCluskey, R. Grzybowski and T. Todos los tipos de contacto eléctrico metal- temperaturas elevadas. Aunque la tecnolo- Podlesak: High Temperature Electronics. silicio tienden a provocar fallos a altas tem- gía SOI no puede utilizarse en aplicaciones CRC Press, 1997. peraturas. También a este respecto, la tec- de alta potencia es posible considerar la apli- nología SOI es mejor que la homogénea, cación de tecnologías alternativas, tales como puede verse en 6 [5]. como SiC y GaN. Existe una necesidad clara También hay que considerar cuidadosa- de la tecnología SOI en la aplicación descri- mente las técnicas de unión de conductores ta, en el fondo de pozos petrolíferos, y ac- entre la pastilla de silicio y el substrato sobre tualmente se están desarrollando diversos el que se monta el mismo. trabajos sobre la alimentación y distribución de energía eléctrica a alta temperatura. ABB Corporate Research de Noruega Efectos de los portadores está perfectamente preparada para el dise- calientes ño digital y analógico de los circuitos inte- Los efectos de los portadores calientes, que grados SOI y ABB ya ha fabricado el prime- aparecen en aquellas zonas de los disposi- ro de ellos para utilizarlo en sus productos. tivos semiconductores con un campo eléc- El segundo circuito integrado SOI digital ya trico elevado, son más intensos a alta tem- está en fase de diseño y fabricación y ABB peratura. Estos efectos se deben a que los se está preparando para realizar circuitos in- portadores (normalmente electrones) son tegrados SOI analógicos. Se espera que, acelerados hasta un nivel de energía tan alto en cuanto estén disponibles, se aplicará que destruyen la superficie de contacto esta tecnología en los equipos situados en Autores entre silicio y dióxido de silicio, o incluso el el fondo de pozos petrolíferos. Knut Asskildt propio dióxido, y provocan cambios irrever- Sohrab Yaghmai sibles de los parámetros, por ejemplo redu- ABB Corporate Research ciendo de forma permanente la tensión de P.O. box 90 ruptura o la tensión umbral. Un proveedor NO-1375 Billingstad, Noruega de circuitos integrados ha informado de los Telefax: +47 66 84 45 88 efectos de los portadores calientes sobre la E-mail: corriente inversa, la cual sufrió un cambio de knut.asskildt@nocrc.abb.no aproximadamente 5% en un período de sohrab.yaghmai@nocrc.abb.no Revista ABB 5/1999 37