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FABRICACIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE UN SQUID DC Javier Darío Caína Bernal Universidad de los Andes. Bogotá, Colombia j-caina@uniandes.edu.co RESUMEN Diseñamos y fabricamos por litografía electrónica y evaporación estructuras superconductoras con junturas Josephson. Como resultado se obtuvo un SQUID de dos junturas tipo S-c-S, con un área interior de 100µm2. Por otro lado se caracterizó otro dispositivo del tipo S-N-S mediante mediciones de resistencia y flujo magnético. Se comprobó la transición superconductora del material y los efectos de juntura extendida en el dispositivo tipo S-N-S. FABRICACIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE UN SQUID DC Javier Darío Caína Bernal Universidad de los Andes. Bogotá, Colombia j-caina@uniandes.edu.co RESUMEN con Diseñamos y fabricamos por litografía electrónica y evaporación estructuras superconductoras con junturas Josephson. Como resultado se obtuvo un SQUID de dos junturas tipo S-c-S, con un área interior de 100µm2. Por otro lado se caracterizó otro dispositivo del tipo S-N-S mediante mediciones de resistencia y flujo magnético. ωJ = 2e h (efecto ac). Superconductor Superconductor ψ1 ψ2 1. INTRODUCCIÓN 1.1 Conceptos sobre el SQUID dc Aislante SQUID es la sigla de Superconductor QUantum Interference Device. Está formado por un lazo de dos junturas Josephson en paralelo, cuyas corrientes de pares de Cooper interfieren entre sí. Características típicas de los SQUIDs son el área del lazo que forman las junturas y el tipo de junturas que lo forman. El principio fundamental del SQUID es por lo tanto el efecto Josephson. Este efecto, propuesto en 1962 por B. D. Josephson [1] predice que a través de dos electrodos separados por una barrera aislante delgada (juntura) debe fluir una corriente superconductora, sin aplicar voltaje, dada por I s = I c sin ∆ϕ , donde Ic juntura y Fig. 1. Juntura Josephson. Este efecto, que puede ser visto como el tunelamiento de pares a través de una barrera, se observa en diferentes materiales de ésta (no sólo aislante) permitiendo clasificar las junturas de acuerdo al material de dicha barrera. Así, se tienen tres tipos de junturas: S-I-S, S-N-S y S-c-S, donde hacemos referencia a los tres materiales ubicados como en la Fig. 1 siendo ‘S’ superconductor, ‘I’ aislante, ‘N’ metal normal y ‘c’ constricción. Este último tipo, S-c-S, consiste en reemplazar la capa de aislante de la Fig. 1 por una unión muy pequeña del mismo material superconductor. es la máxima corriente que puede pasar a través de la ϕ = θ 2 − θ1 onda macroscópica es la diferencia de fase de la función de ψ i = ρi eθ ; i = 1, 2 i a cada lado de la misma (ver Fig. 1). Además, si se aplica un voltaje a través de la juntura, la dinámica de la diferencia de fase estará dada por dϕ 2eV = h dt (a) . Esto permite predecir el comportamiento característico de estas junturas: si no se aplica voltaje se obtiene una corriente (efecto dc) como se acaba de mencionar, y si se aplica un voltaje constante, de la ecuación (3.2) se obtiene una corriente alterna, dada por I s = I c sin (ω J t + ϕ ) (b) Fig. 2. (a) Características relevantes del SQUID y (b) tipos de junturas utilizadas en este trabajo. 1.2 Aplicaciones recientes de interés 4. RESULTADOS DE FABRICACIÓN El SQUID dc es recientemente de interés por ser usado en mediciones de baja temperatura para buscar por ejemplo el quantum de conductancia térmica [2,3]. Su importancia radica en que permite medir campos magnéticos muy pequeños (del orden de unos pocos quantum de flujo magnético); de esta manera permite registrar cambios de temperatura muy pequeños con montajes especiales [3]. 3. PROCESO DE FABRICACIÓN Los siguientes fueron los pasos en el proceso de fabricación: 1° Preparación del sustrato de silicio • Preparación de un cristal de silicio de 100 mm2. • Limpiado en horno de plasma de argón 2° Deposición de la resina • Resina PMMA* (Poly methyl methacrylate) sobre el silicio (A) • Spinning (4000 RPM) • Calentado sobre platina (180ºC, 1min) 3° Proceso de litografía electrónica • Diseño del dispositivo mediante herramienta CAD • Ataque electrónico sobre la resina (B) • Revelado eliminación de la resina atacada (C) 4° Evaporación de Pb (~140nm) (D) 5° Eliminación final de la resina residual (acetona) (E) *Previamente se utilizó una técnica bicapa de PMMA+MMA, para facilitar el limpiado final de la resina, pero no obtuvimos buenos resultados. Fig. 4. SQUID dc tipo S-c-S fabricado. (a) (b) Fig. 5. (a) Dispositivo final con los pads correspondientes de medición, (b) parte central del dispositivo. Fig. 3. Pasos en el proceso de fabricación. Se observa la transición superconductora del plomo cercana a Tc = 7.2°K (valor estándar.) y la transisción de la juntura Tj = 3.4°K. (a) Fig. 8. Respuesta en voltaje del SQUID frente a variaciones de la corriente externa para dos valores de campo concatenado por el lazo. Puede observarse que la curva inferior corresponde a una situación donde ese flujo concatenado es más cercano a un múltiplo entero del cuanto de flujo magnético, con lo que la disipación es menor (ver Fig. 9). Son notorios además los efectos causados por las fluctuaciones térmicas. (b) Fig. 6. (a) SQUID dc y (B) constricción fabricada. 5. CARACTERIZACIÓN El proceso de caracterización fue realizado sobre un SQUID S-N-S (ver sección I). Los resultados fueron obtenidos luego de bajar la temperatura por debajo de los 2°K. Fig. 9. Respuesta del SQUID frente a variaciones del campo magnético aplicado para distintas corrientes de medición. Para una corriente externa dada vemos que cuando este campo coincide con un múltiplo entero de cuanto de flujo, la señal es mínima. Se observa además que al aumentar la corriente externa de medición la disipación aumenta debido a efectos térmicos (ver Fig. 8) Fig. 7. Diferencia de potencial medida a cuatro terminales del SQUID. Fig. 10. Efectos del tamaño finito de las junturas Josephson. Se observa el efecto conjunto del campo aplicado sobre el área del lazo y el área interna de las junturas. Esto se ve reflejado en la modulación de la señal del lazo del SQUID. 6. CONCLUSIONES Se desarrolló un modelo de SQUID de dos junturas Josephson por constricción para lo cual fueron utilizadas técnicas de litografía electrónica, logrando alcanzar espesores mínimos de 200 nm. Verificamos la transición superconductora del plomo y la transición de la juntura; ésta última determina la entrada en funcionamiento del SQUID. Después de utilizar la combinación de resinas, MMA y PMMA, se determinó que aplicando sólo la última logramos mejor definición en los bordes de la capa de Plomo. Se logró observar el efecto del área de las junturas respecto de la del lazo del SQUID por medio de una modulación final en la señal. 7. REFERENCIAS [1] B. D. Josephson, Phys. Lett. 1, 251 (1962); Adv. Phys. 14, 419 (1965). [2] M. L. Roukes. “Yoctocalorimetry: phonon counting in nanostructures”, Physica B, 263-264 (1999)1-15. [3] K. Schwab, J. L. Arlett, J. M. Worlock, M. L. Roukes. “Thermal conductance through discrete quantum channels”, Physica E, 9, 60-68, 2001. [4] Notas de clase. Curso de Física del Sólido IB-CAB 2003, Centro Atómico Bariloche. “Coherencia cuántica en sistemas macroscópicos”, Bariloche, Argentina. Septiembre – Octubre 2003. [5] M. Tinkham, “Introduction to Superconductivity”. McGrawHill. Second Edition. 1996. [6] T. Van Duzer and C.W. Turner. “Principles of Superconductive Devices and Circuits”, Second Edition, Pearson Education, 1998.